上节课，我们主要关注了异质结在逻辑上的一些内容，这堂课我们重点聚焦应用层面，看看那些设备厂商各自选择了哪些路线，当然应用层面的内容相对比较多，所以有什么没讲到的地方，希望大家和我反馈。

一、管式还是板式

PERC时代

第一个应用领域的问题是关于PECVD的。目前来看，PECVD分为两种技术路线，分别是板式与管式。

很有意思的是，在电池片上一代技术革命，也就是PERC时代时，也发生过PECVD的板管之争。最初PERC能大规模量产，得益于梅耶博格推出的板式PECVD设备，也就是图中的这台设备。

但在随后的日子里，捷佳伟创推出管式设备，而管式设备的低成本，使得成本更高的板式逐渐退出市场，因此在PERC时代，捷佳的管式PECVD设备是当之无愧的霸主。

HJT时代

说完了前车之鉴，我们回到当下。目前来看，大部分主流设备厂商在PECVD上都选择了板式这条路线，仅有捷佳伟创仍推出管式的PECVD。此情此景，和PERC时代如出一辙，但这次可能有些不一样。

要知道有什么不一样，我们还得从内部构造入手。首先我们来看看板式和管式的结构图。从这两张图中可以很明显地看出一点，那就是，版式是把硅片横着放入托盘或支架之上，而管式则是把多片硅片竖着插入设备中（石墨舟），然后再进行沉积。

从横竖这点差别，我们就可以得出两个结论：管式设备占地面积更小，所以成本会更省。

由于重力的作用，管式设备在镀膜上均匀性弱于板式设备。这也就是大部分厂商反映均匀性问题的根源。

当然，这两条结论也只是我们根据设备构造简单得出，并不一定正确，有这方面的专家，希望能和我们反映。

通过这两点结论，我们大概就能知道，管P在异质结时代，面对的挑战可要比PERC时代大得多了。因为所谓的PECVD，本质就是镀膜，而异质结对膜的要求是远高于PERC的，所以PERC时代，用均匀性换价格这套打法，在异质结时代很可能就行不通了。但是我们也不能低估技术的进步，毕竟从目前的数据来看，管P要比板P便宜30%，这不是一个小数字。

说完了技术层面，我们回到公司层面。在我们做研究时，很喜欢用ALL IN，押注等词汇，好像是一条路线的成败就意味着公司的生死。但在产业端，很多事情都不是这样，例如捷佳伟创，虽然公司的最大看点就是管式PECVD，但公司同样提供了板式给客户选择。

所以对于捷佳伟创来说，最重要的是提供多样化的选择给客户，因此基本上所有主流设备，公司都有所涉及，下面我们把公司储备的技术路线列举下。

当然每个企业都有自己的技术储备，很多时候也不是企业想路径依赖，而是路径依赖往往是性价比最高的方案（技术切换有沉没成本）。但路径依赖又会带来“偏听则暗”的效果，所以对于PECVD的发展，还得迈为，捷佳两家的纪要一起看。

二、Cat-CVD还是PECVD

说完了PECVD的管、板之争，我们回到PECVD本身，看看PECVD的竞争对手，那就是Cat-CVD。

在说区别前，我们先找下最大公约数，那就是CVD。所谓CVD就是气相沉积法，也就是我们第一节课中所说的那个，然后CVD会根据反应类型的不同分为，带各式各样前缀的CVD。如果用到了等离子体那就是PECVD，如果用的是热丝那就是Cat-CVD，当然也有很多人叫他为hot-wire CVD（HWCVD）。

钝化效果

为了更好地理解这两种CVD，我们找来了中泰证券研报中的图。首先我们能看到，两种方法的反应物都是一致的，均是硅烷（SiH4)、氨气（NH3），以及氢气（H2）。

所以他们的区别主要是在对反应物的分解方面，左边的Cat-CVD，顾名思义，就是用中间那根热丝作为催化剂促使反应物分解，而右边的PECVD，则是用等离子体轰击反应物。

虽然两种方法都是使得反应物分解，但分解的程度是不一样的，热丝分解效率更高，化学钝化后形成的界面也更加的清晰。

耗材消耗

虽然效果更好，但因为是高温（1400℃以上，PECVD工作温度在200-300℃）作业，Cat-CVD中的那根热丝（Ta丝）需要经常更换，由此带来的就是成本高企。

并且定期（一个月以内）更换热丝，还会造成设备的不稳定。所以PECVD装置的稳定性，和均匀性更好，这也就是PECVD成为主流技术的原因。

大腔室＞多腔室

所以综合我们上述两块内容，目前主流技术呼之欲出，那就是版式的PECVD。虽然主要路线得到了统一，但内部结构还是有所差别，主要是多腔体和大腔体之争。

目前看，大腔体是业界公认更有优势的路线。因为多腔体的问题就是，一个产品出现故障，剩下腔体内的硅片势必要报废或者返工，并且腔室越多，需要消耗的真空部件也就越多，因此成本也是更高的。但大腔体的问题就是技术难度更大，均匀性很难保证。回到公司的层面，目前在大腔体上较为领先的是钧石能源。

三、总结

好了，这节课到了这里，我们简单地做个总结，因为前面我们讲了很多关于技术的内容，而且主要是关于PECVD的，关于公司层面说得较少。我们这里稍微谈下公司，从PECVD角度来看，目前做的最好的便是迈为的板式，这一点可以从电池厂商的招投标就可以看出。此外钧石、理想都有相关设备，大家也可以关注下。

当然对于捷佳伟创来说，公司最大的看点就是管式PECVD，但管P的问题就在于，没有经过大规模的量产，就连实验室数据都比较少，所以要大规模推广肯定需要一段时间。因此捷佳想重走PERC时代的老路也颇为不易。

回到CVD上，因为热丝作为耗材需要经常替换，所以成本较高，并且装置不够稳定，因此目前的主流还是用等离子体的PECVD。

下节课我们将进入组件环节，看看组件为了配合异质结都作出了哪些改变。恭喜你完成了本节课的学习，下期我们再见哦～

敲黑板：

PECVD

管式：占地面积小，成本低，镀膜均匀性较差，没经历大规模验证

板式：成本较高，镀膜均匀性较好

CVD：

Cat-CVD：热丝需替换→装置不稳定、成本高，

高温分解原材料→钝化效果好

PECVD：装置稳定→均匀性较好

大腔室＞多腔室